反应离子刻蚀机（进口）单一来源采购公示

项目金额：12万英镑

拟采用方式：单一来源采购

生产商名称：英国/牛津

供应商名称：牛津

外贸代理机构名称：安徽科华贸易有限责任公司

使用人及联系电话: 邓辉，13260255077

公示期：2017年11 月2日—11月8日

预算金额：118万元人民币

申请理由：

牛津公司生产反应离子刻蚀机牛津PLasmaPro 80在科研院所有广泛的客户群，性能及口碑都有保证，积累了可靠的工艺数据。价格与同类产品相当，打折后有一定价格优势。该款机器在工作气体为CHF3-Ar时，刻蚀速率大于25纳米每分钟，均匀性好于正负5%，最大深度3微米（1.5微米特征尺寸），选择比氧化硅：抗蚀剂>3:1，形貌控制在85~90度，占空比好于2:1。能很好满足项目需求。生产及供货商为牛津仪器，原产地英国。主要规格为Plasma80 RIE标准型，外贸代理为安徽省科华贸易有限责任公司。

专家组论证意见：

若有异议，请在公示期内反应至我院：

电话：021-68121145； Email: Btlv@ustc.edu.cn

中国科学技术大学上海研究院

2017年11月2日