学院新闻

反应离子刻蚀机(进口)单一来源采购公示

发布时间:2017-11-02来源于:中国科学技术大学
   项目名称: 反应离子刻蚀机

项目金额:12万英镑

拟采用方式:单一来源采购

生产商名称:英国/牛津

供应商名称:牛津

外贸代理机构名称:安徽科华贸易有限责任公司

使用人及联系电话: 邓辉,13260255077

公示期:2017年11 月2日—11月8日

预算金额:118万元人民币

申请理由:

牛津公司生产反应离子刻蚀机牛津PLasmaPro 80在科研院所有广泛的客户群,性能及口碑都有保证,积累了可靠的工艺数据。价格与同类产品相当,打折后有一定价格优势。该款机器在工作气体为CHF3-Ar时,刻蚀速率大于25纳米每分钟,均匀性好于正负5%,最大深度3微米(1.5微米特征尺寸),选择比氧化硅:抗蚀剂>3:1,形貌控制在85~90度,占空比好于2:1。能很好满足项目需求。生产及供货商为牛津仪器,原产地英国。主要规格为Plasma80 RIE标准型,外贸代理为安徽省科华贸易有限责任公司。

专家组论证意见:

若有异议,请在公示期内反应至我院:

电话:021-68121145; Email: Btlv@ustc.edu.cn

 

中国科学技术大学上海研究院

2017年11月2日